EBL

Dizionario delle Scienze Fisiche (1996)

EBL


EBL 〈i-bi-èl o, all'it., é-bi-èlle〉 [ELT] Sigla dell'ingl. Electron Beam Lithography "litografia a fascio elettronico" con cui s'indica il procedimento, simile alla fotolitografia ma che utilizza un fascio di elettroni anziché un fascio di luce, per incidere un circuito integrato sul wafer di silicio: v. circuiti elettronici integrati: I 613 e.

Vedi anche
wafer In elettronica, lastrina o fetta di materiale semiconduttore (per es., silicio, germanio, arseniuro di gallio), usata come elemento base nella realizzazione di circuiti integrati (➔ microelettronica). I wafer sono ottenuti dal monocristallo cilindrico di materiale semiconduttore mediante tagli perpendicolari ... circùito integrato circùito integrato Circuito realizzato con un unico procedimento fisico-chimico, che consente di ottenere una elevata densità dei componenti in dimensioni molto ridotte. Il circuito integratoi. può essere di tipo elettrico, di tipo ottico o misto elettro-ottico; può essere realizzato su un unico supporto ... microelettronica Parte dell’elettronica che riguarda la miniaturizzazione dei componenti e dei circuiti elettronici, in particolare la realizzazione dei microcircuiti o circuiti integrati (IC, integrated circuit) o chip. 1. Sviluppo La microelettronica ha avuto un forte impatto non solo in campo tecnico, ma anche ... circuito fisica e tecnica 1. circuito elettrici Insieme di elementi, detti componenti circuitali, connessi fra loro in modo da poter divenire sede di correnti elettriche. Per circuito elettrico può anche intendersi, più in generale, la regione di spazio in cui si svolgono le linee di flusso (chiuse) del vettore ...
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