ultravuoto

ultravuoto Termine usato per indicare un ambiente con una pressione minore di 10–5 pascal (Pa). In ambienti di cospicua capacità, si raggiungono u., con pressioni finali dell’ordine di 10–7-10–9 Pa, usando più pompe a diffusione in serie, o, meglio, usando pompe a sublimazione e ionizzazione e pompe a scarica (➔ pompa).